半導體專(zhuān)用顯微鏡

    從尺寸極小的MEMS傳感器到大尺寸晶圓，甚至整個(gè)平板顯示器，檢測期間不會(huì )對樣品造成破壞。AxioImagerVario支持的最大樣品高度為254mm，最大橫向樣品空間為300mm，大大拓展了可以測試的樣品范圍。機柱設計確保了良好的穩定性?？蓾M(mǎn)足在潔凈室內檢測晶圓的應用要求。利用驅動(dòng)Z軸的電動(dòng)馬達與自動(dòng)聚焦硬件確保自動(dòng)調整至理想的聚焦位置。

    潔凈室

    半導體生產(chǎn)和晶圓檢測需要在潔凈室內進(jìn)行。根據DINENISO14644-1標準，以每立方米的顆粒數量和大小將潔凈室劃分成不同等級。AxioImagerVario已通過(guò)此標準認證，并滿(mǎn)足5級潔凈室的應用要求。ISO5級潔凈室相當于原先標準FEDSTD209E（1992）的100級。潔凈室套件中包含一個(gè)7x物鏡轉盤(pán)、一個(gè)顆粒保護罩和防噴嚏保護罩。

    半導體專(zhuān)用顯微鏡優(yōu)勢：

    1、具有兩種手動(dòng)機柱和一種電動(dòng)機柱（配有符合工業(yè)標準的三個(gè)模式控制按鈕）可供選擇，充分利用顯微鏡的最大橫向樣品空間300mmx300mm和最大樣品高度254mm的優(yōu)勢。

    2、AxioImagerVario能通過(guò)物鏡轉盤(pán)的上下移動(dòng)來(lái)聚焦樣品。這意味著(zhù)即便是較重的樣品，依然可以獲得高聚焦精度和可重復性。

    3、半導體專(zhuān)用顯微鏡借助硬件自動(dòng)對焦功能，可以精準快速地聚焦低對比度的反射樣品。

    4、將AxioImagerVario與LSM900結合使用，能夠以高分辨率無(wú)接觸地分析敏感樣品。

    5、AxioImagerVario已通過(guò)DINENISO14644-1認證，并滿(mǎn)足5級潔凈室的應用要求。