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    • Axio Imager Vario半導體專(zhuān)用顯微鏡從尺寸極小的MEMS傳感器到大尺寸晶圓，甚至整個(gè)平板顯示器，檢測期間不會(huì )對樣品造成破壞。Axio Imager Vario支持的最大樣品高度為254 mm，最大橫向樣品空間為300 mm，大大拓展了可以測試的樣品范圍。機柱設計確保了良好的穩定性?？蓾M(mǎn)足在潔凈室內檢測晶圓的應用要求。利用驅動(dòng)Z軸的電動(dòng)馬達與自動(dòng)聚焦硬件確保自動(dòng)調整至理想的聚焦位置。

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      更新日期：2024-04-18
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